|
|
產品應用
|
美國LIGHTHOUSE塵埃粒子計數器在半導體行業的應用
|
|
來源：admin 作者：admin 發布時間：2021-01-17 20:19:18
? |
|
半導體
無塵室認證和測試對于**潔凈設施來說是十分重要的一部分。萊特浩斯開發了微粒計數器專門針對無塵室測試和認證的。帶有數據儲存和恢復功能的輕巧、耐用的儀器，對于無塵室認證報告的下載來說是安全和簡便的。
我們公司的儀器和系統專為有效地、準確地并持續地監測污染而設計。適時的監測是不可缺少的，它能夠減少－防止無塵室中因空氣微粒污染造成生產上的損失。我們的系統能在污染產生并對生產進程造成威脅時立即激活報警系統。另外，同樣的系統還能在降低產量的不良情況以前顯示狀態。無塵室監測通常要求不同的補充技術。萊特浩斯提供了完整的解決方案，包括手動操作的手提式和便攜式微粒計數器，全自動監測系統，不間斷地實時微粒計數儀器。
當半導體晶元線寬越小，受污染的可能性就越大。為了減少污染對生產威脅，許多晶片都適應在微型生產環境和機器人運作的環境中生產。這些技術將晶片和操作工隔離開。然而卻不能避免晶元受到**污染威脅。從微環境，SMIF pods,FOUPs,到加載設備， 監測系統能確保每一個步驟的安全準確。
未被發現的污染會降低在濕度化學狀態下化學藥品的傳輸。監測大量傳輸系統在使用中或在分配過程中的清潔度，以保持化學藥品低于臨界純凈度。
消電離作用系統的效用對于生產極其重要。因為負面滲透或消電離作用系統利用復雜生產工藝在大部分裝配程序中生產*純水，然而污染會影響整個設備在生產中的功能。在*純水循環對于微粒的監測是生產中保持水質的一種方式。
|
| ? |
|
| |
|
|
|
